簡介

美國Tousimis臨界點干燥儀適用于生物樣品、凝膠、MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導體晶圓等材料的干燥，避免樣品在干燥過程中受損。該設備利用CO2臨界點狀態下的無液相表面張力原理，確保樣品形貌的真實性和完整性。Tousimis提供多種型號的臨界點干燥儀，包括非潔凈室和潔凈室版本，滿足不同應用場景需求，如電鏡制樣和超凈間內的材料研究。這些設備具備全自動程序控制、高精度溫度和壓力控制、防靜電設計等特點，確保干燥過程的高效、精確和可重復性。

美國Tousimis臨界點干燥儀Cleanroom潔凈室版

美國Tousimis臨界點干燥儀（CPD）產品分為非潔凈室版本和潔凈室（Cleanroom）版本兩大類，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內的材料研究用途。

Tousimis臨界點干燥儀Cleanroom潔凈室版本共有9個型號：Autosamdri-815 Series B全自動臨界點干燥儀可用于裸片和1”晶圓；Autosamdri-815B Series B全自動臨界點干燥儀可用于4”晶圓；Automegasamdri-915B Series B全自動臨界點干燥儀可用于6”晶圓；Autosamdri-931_1.25"、Autosamdri-931_2.50"、Autosamdri-931_3.40"多用途觸摸屏全自動臨界點干燥儀；Autosamdri-934觸摸屏全自動C系列臨界點干燥儀可用于4”晶圓；Automegasamdri-936、938觸摸屏全自動C系列臨界點干燥儀分別用于 6”和8”晶圓。

AUTOSAMDRI®-931 Cleanroom系列

該系列CPD的工作腔室有三種尺寸可供選擇：

1.25" I.D. x 1.25" Depth - 25ml Volume

2.50" I.D. x 1.25" Depth - 100ml Volume

3.40" I.D. x 1.25" Depth - 186ml Volume

壓力測量范圍：0-2000psi.

溫度測量范圍：-30°C to 60°C

控制方式：配VGA LCD觸摸屏，全自動程序控制

控溫方式：全自動溫度、壓力控制；放氣方式：微流量閥精確控制

v  默認“自動模式”設置，適用于大多數晶圓和方形裸片MEMS應用

v  每次可處理多達 5片基板（晶圓或裸片）

v  配備耐氟樣品架，可選不同腔室分別用于干燥3"、2"直徑的晶圓或邊長為10mm的方形裸片

v  對于外部鋼瓶供應的液態CO2，采用雙T型過濾器進行顆粒過濾，截留率為99.5%以上

v  內部過濾可將過濾后的液態CO2直接輸送至工作腔室， 顆粒過濾低至0.08µm，截留率為99.999%以上

v  內置SOTER™ 冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結或機體靜電，整個過程無噪聲

v  "Stasis軟件" ，干燥凝膠和其它復雜樣品

AUTOSAMDRI®-815/815B Series B系列

外形尺寸：815 Series B  14"(W) x 10.25"(H) x 21.50"(L)；815B Series B  14.25"(W) x 11.75"(H) * 25.0"(L)

工作腔室尺寸：815 Series B  1.25"I.D. x 1.25"Depth；815B Series B  4.5"I.D. x 1.25"Depth

壓力測量范圍：0-2000psi.

溫度測量范圍：-30°C to 60°C

控制方式：全自動按鍵操作

控溫方式：全自動溫度、壓力控制；放氣方式：微流量閥精確控制

v  通過微處理控制器來實現全自動處理過程

v  內表面材質耐用于CO2，超純乙醇和丙酮環境

v  自動控制系統壓力和保持壓力穩定性

v  內部過濾可將過濾后的液態CO2直接輸送至工作腔室， 顆粒過濾低至0.08µm，截留率為99.999%以上

v  基于不同尺寸腔室，每次運行可以處理5 x 4"，5 x 3", 5 x 2"，5 x 1"直徑的晶圓或者5 x 10mm方形裸片(提供可以耐氟的晶圓/方形裸片樣品架，方便運輸和處理晶圓和方形裸片)

v  內置SOTER™ 冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結或機體靜電，整個過程無噪聲

v  815B Series B帶有獨特的腔室填充塊，以減小腔室尺寸，使液態CO2的使用效率大化

注：美國Tousimis產品已有近50年的歷史，在中國乃至全球客戶中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國區代理。Tousimis臨界點干燥儀產品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內的材料研究用途；

非潔凈室版本共有7款CPD：

1）Samdri®-PVT-3D常規臨界點干燥儀

2）Samdri®-795半自動臨界點干燥儀

3）Autosamdri®-815 Series A全自動臨界點干燥儀

4）Autosamdri®-815B Series A全自動臨界點干燥儀

5）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動臨界點干燥儀

6）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動臨界點干燥儀

7）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動臨界點干燥儀

潔凈室版本共有9款CPD：

1）Autosamdri®-815 Series B全自動臨界點干燥儀For Die & 1”Wafers

2）Autosamdri®-815B Series B全自動臨界點干燥儀For 4”Wafers

3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動臨界點干燥儀For 6”Wafers

4）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動多用途臨界點干燥儀

5）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動多用途臨界點干燥儀

6）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動臨界點干燥儀

7）Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀

8）Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動臨界點`干燥儀

9）Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀